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杨怀江 研究员

2016/10/24 14:12:39   来源:本站   作者:管理员   人气:258次

超精密光学工程学术带头人男,19661月生,博士,研究员,博士生导师,现任国家科技重大专项02专项首席科学家、中国科学院特聘研究员、《光学精密工程》编委、中国光学学会理事、吉林省光学学会秘书长。2000年获吉林省杰出青年基金资助、2005年获国务院政府特殊津贴、2006年获吉林省人才基金资助、2012年获“吉林省有突出贡献的中青年专业技术人才”称号、2013年获“吉林省拔尖创新人才”称号。主要从事超精密光学元件检测、紫外探测、信息安全等领域研究工作,并取得了突出成就。主持研制了我国首套NA 0.75 ArF光刻投影物镜,突破了制约我国高端光刻机发展的核心技术瓶颈,填补了国内空白。发表学术论文70余篇,获授权国家发明专利33项;培养博士研究生17名,硕士研究生18名。





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