研究方向 > 短波光学

短波光学

2016/1/11 12:57:47   来源:本站   作者:管理员   人气:1359次

1)面向高端光刻机国产化与产业化的迫切需求,开展代表当前应用光学发展极限水平的深紫外/极紫外(DUV/EUV)投影光刻光学技术研究。

2)面向外层空间对地球的大气环境监测、短波空间成像探测等重大工程应用需求,开展空间紫外/极紫外(UV/EUV)遥感探测技术研究,解决核心单元器件研制、空间极端环境下的可靠性与稳定性等难题。

3)面向第三代同步辐射软X射线光谱分析的科学研究需求,重点开展高分辨能力光栅单色器和双晶单色器关键技术研究,高精度大型压弯机构、高性能KB镜聚焦系统、高精度光束整形设备研究。





热门资讯