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离子束刻蚀系统

2008/10/30 10:52:13   来源:本站   作者:管理员   人气:989次
设备名称:离子束刻蚀系统
 
型    号:LKJ-1C-150
 
生产厂家:北京ADVANCE 公司
 
购入日期:2001年
 
主要指标: 
         刻蚀基片最大口径150mm
 
主要功能:
         离子束刻蚀、抛光、图形转移
 
应用领域:
         应用于半导体、集成光学、微光学、衍射光学、微细加工等领域



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