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激光直写设备

2008/10/30 10:49:27   来源:本站   作者:管理员   人气:1920次
设备名称:激光直写设备
 
生产厂家:长春光学精密机械与物理研究所
 
购入日期:2001年
 
主要指标: 
         直角坐标写入范围:200mm×200mm
         极坐标坐标写入范围:最大口径400mm
         写入最小线宽1微米
         定位精度0.2微米
 
主要功能:        
         可在直角和极坐标内进行激光直接写入光刻制作掩模、衍射光学元件、各种网栅、平面和曲面衍射元件和光栅结构
 
应用领域:          
         红外光学、衍射光学、微光学、半导体器件等领域



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