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多功能电感耦合等离子刻蚀机

2008/10/30 10:39:16   来源:本站   作者:管理员   人气:1562次
设备名称:多功能电感耦合等离子刻蚀机
 
型    号: 601E
 
生产厂家: 法国Alcatel公司
 
购入日期:2002年
 
主要指标: 
         刻蚀速率:2μm/min—10μm/min;
         陡直度:90°±1°
         选择比:Si : SiO2   250 : 1 
                 Si : PR    150 : 1
         侧蚀量:≥0.5μm
         侧表面粗糙度:≥40nm
 
主要功能:  
         刻蚀 3寸、4寸Si、SiO2、Si3N4衬底     
 
应用领域:  
         微电子及MEMS研究



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