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双面对准高精度紫外曝光机

2008/10/30 10:35:42   来源:本站   作者:管理员   人气:1797次
设备名称:双面对准高精度紫外曝光机
 
型    号: SUSS MA6
 
生产厂家:德国Karl Suss公司
 
购入日期:2001年
 
主要指标: 
         最小分辨率:0.6μm;
         双面对准精度:1μm;
         样品尺寸:3寸、4寸
 
主要功能:     
         通过掩膜曝光获得所需图形    
 
应用领域:         
         微电子及MEMS研究



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