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本室2人赴美国Corning公司关于深紫外光刻光学材料方面进行了技术交流

2012/1/18 11:51:07   来源:本站   作者:管理员   人气:1607次

       2011年12月初本室2人赴美国Corning公司关于深紫外光刻光学材料熔石英、氟化钙、ULE检测方面进行技术交流,为高NA光刻物镜光学材料筛选及检测等方面合作奠定了基础。





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