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应光室承担的极紫外光刻领域国家科技重大专项 召开季度例会

2019/5/20 9:52:05   来源:本站   作者:张海涛   人气:1009次

2019413日,由应用光学国家重点实验室承担的极紫外光刻领域国家科技重大专项召开2019年度第一季度例会,本项目由中科院长春光学精密机械与物理研究所牵头,联合中科院上海光学精密机械研究所、清华大学、中科院微电子研究所、中科院化学研究所共同承担。

应用光学国家重点实验室主任、科技部原副部长曹健林,长春光机所分管所领导王建立,应用光学国家重点实验室常务副主任阚瑞峰,长春光机所基础科研管理处分管领导许亮,长春光机所科研管理处项目主管张续严,项目负责人金春水,项目首席专家宗明成以及各课题负责人等参加本次会议。各课题负责人汇报了项目开展以来的进展情况,讨论了项目技术及管理问题。会议由长光所基础科研管理处分管领导许亮及项目负责人金春水主持。

          





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