设备名称：激光直写设备
 
生产厂家：长春光学精密机械与物理研究所
 
购入日期：2001年
 
主要指标： 
         直角坐标写入范围：200mm×200mm
         极坐标坐标写入范围：最大口径400mm
         写入最小线宽1微米
         定位精度0.2微米
 
主要功能：        
         可在直角和极坐标内进行激光直接写入光刻制作掩模、衍射光学元件、各种网栅、平面和曲面衍射元件和光栅结构
 
应用领域：          
         红外光学、衍射光学、微光学、半导体器件等领域