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专用设备
激光直写设备
2008/10/30 10:49:27 来源:本站 作者:管理员 人气:5652次
设备名称:激光直写设备
生产厂家:长春光学精密机械与物理研究所
购入日期:2001年
主要指标:
直角坐标写入范围:200mm×200mm
极坐标坐标写入范围:最大口径400mm
写入最小线宽1微米
定位精度0.2微米
主要功能:
可在直角和极坐标内进行激光直接写入光刻制作掩模、衍射光学元件、各种网栅、平面和曲面衍射元件和光栅结构
应用领域:
红外光学、衍射光学、微光学、半导体器件等领域
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