多功能电感耦合等离子刻蚀机
2008/10/30 10:39:16 来源:本站 作者:管理员 人气:5825次

设备名称:多功能电感耦合等离子刻蚀机
型 号: 601E
生产厂家: 法国Alcatel公司
购入日期:2002年
主要指标:
刻蚀速率:2μm/min—10μm/min;
陡直度:90°±1°
选择比:Si : SiO2 250 : 1
Si : PR 150 : 1
侧蚀量:≥0.5μm
侧表面粗糙度:≥40nm
主要功能:
刻蚀 3寸、4寸Si、SiO2、Si3N4衬底
应用领域:
微电子及MEMS研究
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