首 页
实验室简介
研究方向
新闻信息
科研成果
研究队伍
人才培养
科研设施与技术服务
资料下载
联系我们
欢迎光临长春光机所应用光学国家重点实验室!
新闻信息
>
专用设备
双面对准高精度紫外曝光机
2008/10/30 10:35:42 来源:本站 作者:管理员 人气:4696次
设备名称:双面对准高精度紫外曝光机
型 号: SUSS MA6
生产厂家:德国Karl Suss公司
购入日期:2001年
主要指标:
最小分辨率:0.6μm;
双面对准精度:1μm;
样品尺寸:3寸、4寸
主要功能:
通过掩膜曝光获得所需图形
应用领域:
微电子及MEMS研究
热门资讯
相关栏目
实验室概况
实验室领导
学术委员会
推荐资讯