设备名称：双面对准高精度紫外曝光机
 
型    号： SUSS MA6
 
生产厂家：德国Karl Suss公司
 
购入日期：2001年
 
主要指标： 
         最小分辨率：0.6μm；
         双面对准精度：1μm；
         样品尺寸：3寸、4寸
 
主要功能：     
         通过掩膜曝光获得所需图形    
 
应用领域：         
         微电子及MEMS研究